PUMP RACK SYSTEM
진공펌프를 구동하기 위한 전기, Utility, 진공배관을 비롯하여 PUMP관련 악세서리를 모두 포함한 RACK. 정해진 기준에 의해 규격화되어 만들어진 RACK.
장점
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Line 내 설비 배치를 효과적으로 Lay-out을 구성할 수 있음
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5D 대응으로 건설단계에서 Lay-out 검토 가능
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악세서리 및 진공배관을 안정적으로 설치 및 고정하여 진공효율 극대화
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Maintenance 공간확보 쉬움
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주위환경물체로부터 진공펌프 및 악세서리 보호
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확장성 쉬움 (1ch ~ 6ch 제작)
삼성전자(SEMI) PUMP RACK 공급 지정 업체
SEMI PUMP RACK SYSTEM
On-tool
LCD PUMP 소음방지 Rack
준비중
