Magnetic seal
표준품은 반도체 Furnace Maker에 장착되고 있습니다.
원익IPS -> http://www.ips.co.kr
Principles Magnetic seal
-
비접촉Seal (Dust free)
-
고속회전가능 (Max 5,400RPM 수냉방식)
-
긴수명(5년이상, 표준조건, 불활성 Gas경우)
-
고진공대응가능 (10-6 Pa)
-
Maintenance free
-
설계 자유도가 큼 (대칭, 대구경, Slim, 다축구조)
| NO | 항목 | TSFCN-021-12B, 12D |
| 1 | Operating Temperature | 10-150°C |
| 2 | Process | SEMI Diffusion, LPCVD |
| 3 | Size (mm) | W: 125/L: 212.5/H: 185.5 |
| 4 | Torque Capacity | 30kg |
| 5 | Pressure Capacity(Static) | 3.0Kg/cm² |
| 6 | Leakage rate(He) | 1.3x10E-9 [Pa-m2/S] |
| 7 | Rotation Speed | Max 6 rpm |
| 8 | Flow rate | 48SLM / (4kgf/cm²) |
| 9 | Proof load | Max 120kg |
REPAIR
KE 12”
KE 8”
AMAT
TEL 12”
TEL 8”
DAIHEN ROBOT
