Pump Rack
삼성전자(SEMI) PUMP RACK 공급 지정 업체
진공펌프를 구동하기 위한 전기, Utility, 진공배관을 비롯하여 PUMP관련 악세서리를 모두 포함한 RACK.
정해진 기준에 의해 규격화되어 만들어진 RACK.
진공배관
반도체 제조 공정에 최적화된 진공배관 및 배관 시스템을 설계부터 제작까지 전문적으로 제공 수년간 축적된 기술력과 정밀한 공정 관리로, 고정밀을 요구하는 반도체 산업을 포함한 다양한 분야에 최적화된 진공배관 솔루션을 제공
SUS(Stainless Steel) 재질을 이용한 용접 반도체 공정에 특화된 Bellows 및 Flexible Tube 전문 제작
2D·3D 설계를 통한 최적의 맞춤형 설계 제공
Auto Tube Bending
최대 ∮38 사이즈의 Tube를 최대각도 190˚ 까지 자동으로 정밀하게 굽히는 장비.
반도체,자동차등 복잡하고 반복적인 파이프 가공에 사용
| Seal (밀봉창지) | 운동용Seal (Packing) | 비접촉식 Seal | Magnetic Seal |
| Labyrinth Seal | |||
| Visco Seal | |||
| Magnet-Coupling Seal | |||
| 접촉식 Seal | Oil Seal | ||
| Mechanical Seal | |||
| 성형Packing | |||
| Wilson Seal | |||
| Grand Seal | |||
| Bellows seal | |||
| 고정용Seal (Gasket) | 금속Gasket | ||
| 비금속 Gasket | |||
| Semiconductor Gasket |
Magnetic Seal
마그네틱 실(Magnetic Seal) 은 자성유체를 이용한 Sealing으로 진공 상태를 유지하면서 회전 또는 이동이 필요한 부분에 사용하는 비접촉식 Sealing 제품
반도체 설비에서의 적용사례
- 진공챔버 내 회전기구
- Load/Unload 이송 장치
- Wafer 이송로봇 Arm 구동부
